Fotomasken und Reticles
Der Bauplan eines Chips in Quarzglas, in einer Kassette, die selbst zur Spezifikation gehört. Einzelstück, in Tagen nicht reproduzierbar, empfindlich gegen Erschütterung und gegen jede Partikelbelastung beim Öffnen.
Eine Fotomaske wiegt wenig, kostet mehr als eine Werkzeugmaschine und verträgt weder Vibration noch statische Aufladung noch einen Umschlagpunkt. Für genau diese Art von Ware gibt es den Onboard Kurier, und für die Exportkontrolle davor gibt es den Desk.
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Halbleiterware ist in drei Hinsichten ungewöhnlich. Sie ist extrem wertdicht, ein Behälter im Handgepäckformat trägt regelmäßig den Gegenwert einer Werkzeugmaschine. Sie ist empfindlich gegen Dinge, die man nicht sieht: elektrostatische Entladung, Vibration, Partikel, Feuchtigkeit. Und sie hängt an Terminen, die eine ganze Fabrik takten.
Im Frachtprozess sind alle drei Punkte schwer zu beherrschen. Ein Behälter wird gestapelt, gefahren, umgeschlagen und zwischengelagert, und keine dieser Bewegungen ist einer Person zugeordnet. Beim Onboard Kurier ist jede Bewegung zugeordnet, weil es nur eine Person gibt, die sie ausführt, und weil ihr Name im Auftrag steht.
Dazu kommt die Geheimhaltung. Maskensätze und Prüfwafer verraten, was ein Kunde gerade entwickelt und in welcher Strukturbreite. Eine Sendung, die drei Betriebe durchläuft, ist an drei Stellen einsehbar, und in dieser Branche wiegt das schwerer als das Risiko eines Sturzes.
Ab DRS, MUC, STR, FRA, DUS und BER sind die europäischen Standorte der Branche kurz angebunden, und die üblichen Ziele in Ostasien und Nordamerika sind ab FRA und MUC häufig ohne Umstieg erreichbar. Welcher Flughafen der richtige ist, entscheidet die Ankunft und nicht die Nähe zum Werkstor.
Der Bauplan eines Chips in Quarzglas, in einer Kassette, die selbst zur Spezifikation gehört. Einzelstück, in Tagen nicht reproduzierbar, empfindlich gegen Erschütterung und gegen jede Partikelbelastung beim Öffnen.
Für die Qualifizierung eines Prozesses oder einer Anlage. Ohne sie steht die Freigabe, und ohne Freigabe läuft keine Serie an. Der Wert liegt weniger im Material als in den Wochen, die darin stecken.
Klein, präzise gefertigt und im Zweifel genau das Teil, das eine ganze Fabrik anhält. Der Ersatz kommt oft aus Übersee, und die Wartungsfenster sind auf Stunden geplant, nicht auf Tage.
Justierte Systeme aus der Feinoptik, die eine Erschütterung nicht verzeihen. Nachjustieren heißt Rückversand zum Hersteller, und damit ist der Zeitgewinn des Transports mehrfach verspielt, bevor die Anlage überhaupt in Betrieb geht.
Wo Prozessrezepte und Messreihen das Netz nicht verlassen dürfen, reisen sie physisch. Ein verschlüsselter Datenträger im Handgepäck einer benannten Person ist ein Übertragungsweg mit Protokoll und mit Unterschrift.
Testchips, bestückte Musterplatinen und Kleinserien für Kunden, die auf eine Freigabe warten. Hoher Wert, kleine Menge, harte Termine und fast immer eine Geheimhaltungsvereinbarung im Hintergrund.
Fünf kurze Fragen. Ein Disponent antwortet mit einer benannten Verbindung, der Zustellzeit und einem festen Preis, Tag und Nacht.
Sechs Regeln, die vor der Übernahme feststehen.
Bei Halbleitertechnik ist selten der Transport das Nadelöhr, sondern die Genehmigung. Fertigungsausrüstung, bestimmte Materialien sowie Prüf- und Messtechnik stehen auf den Güterlisten für Dual Use, und je nach Ziel, Empfänger und Endverwendung braucht die Ausfuhr eine Genehmigung. Dazu kommen amerikanische Wiederausfuhrregeln, die auch für in Europa gefertigte Ware greifen können.
Das wird vor der Buchung geprüft, gemeinsam mit Ihrer Exportkontrolle, und gebucht wird erst, wenn die Frage beantwortet ist. Eine Sendung, die am Flughafen zurückgehalten wird, ist teurer als eine, die einen Tag später startet, und sie zieht eine Prüfung nach sich, die den nächsten Versand ebenfalls verzögert.
Was wir dafür brauchen, ist wenig und muss stimmen: die Güterlistennummer oder die Aussage, dass keine greift, der Endverwender mit Anschrift, der Verwendungszweck und, wo vorhanden, die Genehmigungsnummer. Wo Sie noch prüfen, warten wir. Wo die Ware nicht gehen darf, sagen wir es und buchen nicht.
Handhabungsvorschrift, Verpackung, Lagevorgabe, Kontrollpunkte, Ansprechpartner an beiden Enden. Diese Abstimmung findet vor dem Auftrag statt und nicht während der Fahrt.
Güterliste, Endverwender, Verwendungszweck. Erst wenn diese drei Angaben stehen, wird ein Sitzplatz gekauft. Vorher gibt es einen Preis, aber keine Buchung.
Ihr Personal bringt den Behälter bis zur Schleuse, der Kurier übernimmt dort, prüft Siegel und Kennzeichnung und quittiert mit Zeitstempel.
Angemeldete Handkontrolle, wo Röntgen ausgeschlossen ist. Die Herstellererklärung liegt bei, damit die Kontrolle nicht zur Verhandlung wird.
Der Behälter bleibt beim Kurier, in der vorgeschriebenen Lage und außerhalb jeder Ablage, in der er verrutschen kann. Bei einem Umstieg wechselt er kein Band.
An die benannte Stelle im Zielwerk, gegen Unterschrift. Wo ein Beschleunigungs- oder Klimaschreiber mitreist, wird er im Beisein des Empfängers ausgelesen.
Was in dieser Branche schiefgeht, geht leise schief.
| Risiko | Wo es entsteht | Was dagegen läuft |
|---|---|---|
| Elektrostatische Entladung | Beim Umpacken und beim Anfassen | ESD-Handhabung, Verpackung bleibt verschlossen |
| Vibration und Stoß | Auf Förderbändern und beim Stapeln | Kein Frachtweg, der Behälter bleibt beim Kurier |
| Partikel und Feuchtigkeit | Beim Öffnen außerhalb des Reinraums | Öffnen nur auf behördliche Anordnung, protokolliert |
| Kenntnisnahme durch Dritte | An jedem Umschlagpunkt | Ein Name je Sendung, Verschwiegenheitserklärung |
| Verstoß gegen Ausfuhrrecht | Bei Ziel, Empfänger oder Endverwendung | Prüfung vorab, keine Buchung ohne Freigabe |
01Können Sie den Behälter im Reinraum übernehmen?
Bis zur Schleuse. Innerhalb des Reinraums übergibt Ihr Personal, weil eine fremde Person dort mehr Risiko erzeugt, als sie an Zeit spart. Am Zielort gilt dasselbe in umgekehrter Richtung, und beide Übergaben werden mit Uhrzeit quittiert.
02Wie ist es mit Röntgen an der Sicherheitskontrolle?
Für die meisten Halbleiterprodukte ist Röntgen unkritisch. Wo es kritisch ist, wird die Handkontrolle vor der Reise angemeldet, und der Kurier führt die Erklärung des Herstellers mit. Ohne diese Vorbereitung entscheidet die Kontrolle vor Ort, und das ist keine gute Ausgangslage.
03Wer prüft die Exportkontrolle, Sie oder wir?
Die Verantwortung liegt beim Ausführer, also bei Ihnen. Wir prüfen, ob die Angaben zur Buchung passen, weisen auf Widersprüche hin und buchen nicht, solange die Freigabe offen ist. Diese Reihenfolge ist unbequem und hat noch jede Sendung billiger gemacht.
04Fliegen Sie nach Taiwan, Korea, Japan und in die Vereinigten Staaten?
Ja, das sind zusammen mit Singapur die häufigsten Ziele der Branche, ab FRA und MUC überwiegend ohne Umstieg. Ab DRS und STR fahren wir in der Regel zum Drehkreuz, weil die Fahrt zum größeren Flughafen fast immer früher ankommt als ein Zubringer.
05Reist ein Messschreiber mit?
Auf Wunsch ja, für Beschleunigung, Temperatur oder Feuchte. Er wird bei der Übernahme gestartet und bei der Übergabe im Beisein des Empfängers ausgelesen, damit die Daten später nicht bestritten werden. Die Datei geht zusammen mit dem Zustellnachweis an Sie.
06Was ist mit Datenträgern und verschlüsselten Medien?
Die reisen mit, wenn die Ausfuhr das zulässt. Verschlüsselung selbst kann genehmigungspflichtig sein, deshalb gehört auch ein Datenträger in die Prüfung vor der Buchung. Der Kurier kennt kein Passwort und braucht auch keines.
Mit Warenart, Verpackung, Handhabungsvorschrift, Endverwender und Zieltermin steht Ihr Angebot innerhalb von 15 Minuten, mit festem Preis und benannter Verbindung. Ist die Ausfuhr noch nicht freigegeben, halten wir die Verbindung im Blick und buchen in dem Moment, in dem Sie freigeben.